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政策市场双轮驱动 工业传感器跃升智能制造核心 9月深圳展会将呈现全链路技术图谱

2026-06-24 08:06:13来源:互联网

2026年3月,工信部等九部门联合印发《推动物联网产业创新发展行动方案(2026—2028年)》,首次将微纳位移传感器、柔性触觉传感器、高分辨率视觉传感器纳入重点突破技术清单,并提出2028年物联网核心产业规模突破3.5万亿元的目标。随着具身智能量产提速、先进制造产线升级、半导体工艺精度提升,工业传感器正从辅助器件转变为核心工艺节点,即将于9月9-11日在深圳国际会展中心举办的CIOE智能传感展,将集中展示这一领域从研发到应用的全链路技术方案。

今年,人形机器人、外骨骼等具身智能设备进入量产冲刺阶段。据GGII测算,传感器在人形机器人BOM成本中占比超33%,单台设备需搭载数十至上百个传感器,若2030年全球年产量突破100万台,配套传感器市场规模将超3000亿美元。为满足多维度感知融合需求,行业正推动编码器向更高分辨率、更小体积演进,光谱共焦技术成为末端精密操作的主流方案。国内企业中,达瑞鑫的高精度工业机器人方案已获专利授权,可解决定位慢、易受光线干扰等问题;恩弼科技的PSD位置敏感探测器为机器人提供高分辨率非接触测量能力;汉威科技则围绕触觉、力觉等多维度布局,其柔性触觉传感器等产品已批量应用于机器人电子皮肤、灵巧手控制等场景。

面对锂电池极片涂布超120m/min、光伏玻璃高速缺陷检测等需求,传统离线抽检已难适配产线节拍,传感器开始嵌入生产设备实现实时质量监控。Yole Développement预测,2026年全球工业传感器市场规模将达267.5亿美元,其中工厂自动化传感器市场接近189亿美元,增量主要来自在线检测场景。针对金属高反光、透明薄膜透射干扰等复杂表面检测难题,激光三角位移传感器、光谱共焦传感器等技术各展所长。米铱的智能光学位移传感器已应用于PCB产线定位检测,光谱共焦技术在芯片焊球高度检测中实现60nm分辨率;西曼传感的激光位移传感器广泛用于精密工业场景;善测科技的电涡流与电容位移传感器在光刻、晶圆检测中实现超高精度,多家企业从光源、探测、算法等环节构建起制造业质量管理新体系。

半导体制造对晶圆检测要求严苛,需在12英寸直径范围内数秒完成全表面纳米级缺陷筛查,同时实现多层堆叠结构的内部对准与厚度量测,高分辨率视觉传感器正是核心支撑。针对大视场与纳米级精度的矛盾,滨松的波长检测技术可在5秒内完成300mm晶圆全场膜厚测量;国内企业中,光达创新的图像传感器可穿透硅基材料成像,解决多层堆叠结构内部缺陷检测难题;映讯芯光的异质集成硅光芯片实现大视场高信噪比扫描;锐芯微的深紫外TDI线阵相机已应用于晶圆外观检测,国产技术正从单点工具向系统级方案演进。

本次CIOE智能传感展将涵盖位移传感器、光谱共焦传感器、光电编码器等多类产品,覆盖从研发仿真材料分析到产线自动化监测、半导体晶圆级检测的全链路场景。米铱、滨松、汉威科技、锐芯微等国内外企业将带来最新技术方案,为行业搭建技术交流与供需对接平台,助力从业者把握工业传感器产业发展新机遇。

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